扬中收购长晶炉设备高压配电箱回收专业正规企业
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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用提拉的办法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 ,再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中 ,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度 V向上 (下 )运动 ,而且当提拉负载增大引起线速度为零时 ,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中 ,对提拉控制系统提出的主要技术指标是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范围之内实现无级可调 ,线性精度大于± 2 %
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原理编辑首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3~5mm的细颈,用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成,进行一定的保温冷却后就可以取出。
DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地,作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度,以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上,硅晶体直径大致每4~5年增长1时(25.4mm),相应地,生产投料重也由1公斤逐渐发展为3~5公斤、8~12公斤、15~刘公斤和朋~6O公厅等几个等级。在这发展中,有两个条件是相辅相成、共同进步的,这就是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计、减压工艺的设计与调整
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全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保证控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
青岛消费者陈雪认为,消费者收到快件后,包装袋崭新却不能继续使用,只能丢弃,造成资源浪费,快递企业应承担相应义务。四川消保委认为,从环保角度考虑,只有将倡导性的规定上升为法律义务,经营快递的企业才能积极有效地执行该项措施。四川消保委建议,规定经营快递业务的企业应当使用可降解、可重复利用的环保包装材料,鼓励经营快递业务的企业采取措施回收快件包装。陕西消费者凌旎反映,一些物业公司不让快递员进入小区,或者收取高额进场费,阻碍快递“后一公里”问题的解决。
阿勒泰市首批气电混合新能源公交车日前正式投入使用,预计到9月中旬,45辆气电混合新能源公交车将全部替代燃油公交车。在阿勒泰市利众公交公司已经工作18年的周德恩,亲眼见证了公交车的更新换代。能开上这种新能源的环保公交车让他格外兴奋。阿勒泰市利众公共交通有限公司司机周德恩说:“公司院子里的新车可好看了,你有时间你去看看我们院子里的新车,我们新车,马上更多的车就回来了。”据了解,阿勒泰市利众公共交通有限公司新引进的气电混合新能源公交车每百公里气耗22立方,比传统公交车节省40%的能源。
扬中收购长晶炉设备高压配电箱回收专业正规企业二手锅炉回收:长期高价回收燃气锅炉、燃油锅炉、燃煤锅炉、电热锅炉、沼气锅炉、太阳能锅炉等。 7,废旧金属回收:长期高价回收紫铜、磷铜、红铜、黄铜、铝、不锈钢、铝合金、锡、锌、铁等废旧金属。8,其他设备回收:高价回收废旧机械设备、工业设备、机电设备、化工设备、酒店设备、厨房设备、办公设备等,9,上海工程拆除:面向个人及企事业单位提供拆除工程包括酒店拆除、宾馆拆除、商场拆除、厂房拆除、钢结构拆除、桥梁拆除、大型设备拆除、烟囱拆除等服务。10.专业收购二手废旧变压器配电柜+高压柜+中置柜+稳压柜+调压柜+低压配电柜+智能断路器+接触器+真空断路器+开关柜拆除回收等等,11.长期高价回收各类回收各种冶炼成套设备、中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉
资料图:神农架清晨六点,阳光和薄雾一起,拂略过神农架的万顷林海。神农架林区民间野生动植物保护协会(以下简称野保协会)志愿者黄运国,一早就钻进官门山的密林,开始巡山解套。神农架是地球上活的物种基因库,现已记录脊椎动物600多种,已发现昆虫4365种。然而,这里也是偷猎者的目标。2012年至今,黄运国巡山600多天,每天10个小时,拆网解套无数,解救野生动物上千只。今年37岁的黄运国,身高165厘米,体态偏胖。
7月20日,国家能源局召开党组中心组学习(扩大)会议,学习贯彻关于全面从严治党重要论述,推动全面从严治党向基层党组织延伸。局党组书记、局长努尔·白克力主持会议并讲话。会议学习了《系列重要讲话读本(2016年版)》第七章“打铁还需自身硬——关于全面从严治党”,6位青年党员代表结合实际,畅谈了学习体会。努尔·白克力在讲话中指出,推动全面从严治党向基层延伸是全面从严治党的题中应有之义,是巩固党执政基础的必然要求,是保障能源事业科学发展的现实需要。
真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用,然而在这些领域大都存在尘埃对真空系统的危害问题。为保护真空系统或真空泵不受粉尘和固体颗粒污染和损坏,管路中需配置真空除尘器和真空过滤器。它们可保护真空阀门不被阻塞,避免阀板关闭不严造成漏气,保护测量压力的真空规管不受污损,防止泵受损而工作失常等,对真空设备的净化和平稳、持续工作均很重要。除尘机理及过程从气体中捕集分离粒子的除尘机理,主要有以下几个方面:、重力气流中的尘粒可以依靠重力自然沉降,从气流中进行分离。由于尘粒的沉降速度一般较小,这个机理只适用于粗大的尘粒、离心力利用机械力来捕集分离含尘气流中的粉尘,离心力除尘装置是其中有效的除尘装置。它对粒径较小尘粒的分离捕集非常有效。含尘气流作圆周运动时,由于惯性离心力的作用,尘粒和气流会产生相对运动,使尘粒从气流中分离、惯性碰撞和接触阻留含尘气流在运动过程中遇到物体的阻挡(如挡板、纤维、水滴等) 时,气流要改变方向进行绕流,细小的尘粒会随气流一起流动。粗大的尘粒具有较大的惯性,它会脱离流线,保持自身的惯性运动,这样尘粒就和物体发生了惯性碰撞而脱离气流(见图1)。细小的尘粒随气流一起绕流时,如果流线紧靠物体(纤维或液滴) 表面,有些尘粒因与物体发生接触而被阻留,这种现象称为接触阻留。另外当尘粒尺寸大于纤维网眼而被阻留时,这种现象称为筛滤作用。
山西是我国的产煤大省,而煤制甲醇是甲醇这种物质的重要来源。甲醇是主要由煤经过汽化加氢而生成的液体,其性能与汽油接近,也可以用于点燃式的发动机。相对于汽柴油来说,甲醇燃烧后的污染物排放更低,属于清洁燃料。用甲醇代替石油燃料在国外已经应用近30年,甲醇汽车控制系统技术都已经很成熟。吉利汽车、陕汽、陕西通家汽车、山西成功汽车和郑州宇通客车等5家企业为我国甲醇汽车的主要生产企业,目前主要在山西晋中与上海两个试点城市出租汽车行业进行使用。
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